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1 lmen - Laboratoire de Microscopies et d-Etude de Nanostructures

Abstract : The work reported in this thesis is devoted to electrical characterization of germanium nanocrystals Ge-ncs elaborated by dewetting on a silicon dioxide layer which is thermally grown on a doped silicon substrate. The study is divided in two parts:First, current - voltage I-V and capacitance high frequency; 1 MHz - voltage C-V measurements were performed to characterize nanocrystals capped with amorphous silicon. Hence, Coulomb blockade effect at room temperature has been evidenced for nanocrystals with the smallest ~ 3.5 nm mean diameter. Both I-V and C-V measurements revealed the charge trapping phenomenon in the nanocrystals. The latter is affected by Ge-ncs average size and density and the effects of these two parameters have been separated thanks to measurements at different temperatures. Accordingly, the temperature depended number of electrons stored in each nanocrystal allowed the determination of a thermal activation energy which was shown to be dependent on the average size or gap of nanocrystal.Secondly, characterization with conductive atomic force microscopy was performed on samples containing uncapped nanocrystals. The effects of Ge-ncs size and density on charge trapping and transport have been studied. NF-EBIC Near Field - Electron Beam Induced Current measurements showed the electrical activity of sample surface with uncapped Ge-ncs. Finally, minority carrier diffusion lengths measurements have been made. The results showed that this key parameter is reduced by the presence of Ge-ncs and the enhancement of their density.

Résumé : Le travail rapporté dans ce mémoire concerne la caractérisation électrique de nanocristaux de germanium nc-Ge élaborés par démouillage sur une couche de dioxyde de silicium. L-étude est réalisée sous deux formes : En premier lieu, des mesures courant – tension I-V et capacité haute fréquence ; 1 MHz – tension C-V ont été effectuées pour caractériser des nanocristaux recouverts par du silicium amorphe. Les résultats ont montré l-apparition du blocage de Coulomb à température ambiante dans des nc-Ge ayant le plus petit ~3.5 nm diamètre. Les mesures I-V et C-V ont révélé le phénomène de piégeage dans les nanocristaux. Ce dernier est conditionné par leur taille et densité moyennes, dont les effets ont été séparés grâce aux mesures en température. En conséquence, la variation en température du nombre moyen d-électrons piégés par nanocristal a permis d-accéder à une énergie d-activation thermique qui s-est révélée être dépendante de la taille moyenne ou du gap du nanocristal.En deuxième lieu, des caractérisations par microscopie à force atomique en mode conducteur ont été effectuées sur des échantillons contenant des nc-Ge non recouverts. Là aussi, le transport et le piégeage ont été abordés en mettant en évidence l-effet de la taille et la densité moyennes des nc-Ge. Des mesures EBIC courant induit par faisceau d-électrons en champ proche NF- ont aussi été menées pour cartographier l-activité électrique en surface des échantillons. Elles ont été suivies par des mesures de la longueur effective de diffusion des porteurs minoritaires en excès. Les résultats ont montré que ce paramètre est réduit par la présence de nc-Ge et par l-augmentation de leur densité

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Keywords : Electron transport Charge storage Coulomb blockade NF-EBIC MOS structure Memories Nanocrystals Diffusion length Dewetting.

Mots-clés : Démouillage Transport de porteurs Stockage de charges Blocage de Coulomb C-AFM EBIC en champ proche structure MOS Mémoires Nanocristaux Germanium Longueur de diffusion Démouillage.





Autor: Karim Gacem -

Fuente: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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