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1 IMAG - Institut d-Informatique et de Mathématiques Appliquées de Grenoble

Résumé : Dans le domaine de l-inspection visuelle automatique de circuits intégrés, le contraste des images est un paramètre important. La méthode d-optimisation proposée utilise l-effet des variations de réflexion optique en fonction de la longueur d-onde pour les structures de couches minces. Elle consiste a déterminer le filtrage en longueur d-onde optimisant un -facteur de qualité- de l-image taux de la dynamique de la camera à partir des spectres de réflexion des différentes structures présentés sur la plaquette. L-étude est limitée au cas des circuits intégrés à 2 structures, mais l-extension a un nombre quelconque est possible. Les différents moyens d-obtention des spectres de réflexion sont précisés. Des mesures photométriques démontrent la fiabilité de la méthode proposée. Un appareillage optique original permet l-application dans le cadre d-une machine d-inspection automatique

Mots-clés : microscopie optique couches minces optiques spectrométrie filtrage en longueur d-onde circuits intégrés inspection microélectronique





Autor: Frédéric Moisan -

Fuente: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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