Caractérisation mécanique de micro-poutres par lessai de flexion associé à une technique dimagerieReportar como inadecuado




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Résumé : Durant cette dernière décennie le domaine des micro-techniques a connu un formidable essor et maintenant le dimensionnement des micro-systèmes fait appel à de nombreuses disciplines scientifiques telles que l-électronique, les procédés d-obtention, l-optique, la mécanique

. Celui-ci s-effectue le plus souvent de manière globale et présente un caractère fortement interdisciplinaire. Dans ce contexte, la connaissance des propriétés mécaniques des matériaux utilisés dans la conception des micro-systèmes, fortement dépendantes des procédés, est un aspect particulièrement important. Dans cette logique, de nouveaux moyens expérimentaux de caractérisation des matériaux en faibles dimensions ont été réalisés et, parmi les différentes possibilités, on présente l-essai de flexion de micro-poutre encastrée-encastrée ou encastrée-libre. La mesure des déplacements globaux est réalisée simplement à l-aide d-une technique d-imagerie optique couplée à un traitement numérique d-images. Cette méthode a été validée sur des micropoutres de silicium monocristallin et conduit à des mesures très reproductibles. Une application sur des micro-poutres en nickel électro-déposé et obtenues par technologie LIGA est également présentée. Les résultats expérimentaux sont en bon accord avec ceux issus des calculs analytique et numérique, ce qui valide l-ensemble de l-expérience.





Autor: A. Sergent L. Robert P. Delobelle L. Bornier

Fuente: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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