Structural and electro-thermal analysis of a magnetic resonant sensor structure based on lorentz force Reportar como inadecuado




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J. Martínez-Castillo ; P. J. García-Ramírez ; E. Morales-González ; A. Ramírez-Treviño ; W. Calleja-Arriaga ;Superficies y vacío 2006, 19 (3)

Autor: A. L. Herrera-May

Fuente: http://www.redalyc.org/


Introducción



Superficies y vacío ISSN: 1665-3521 alex@fis.cinvestav.mx Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. México Herrera-May, A.
L.; Martínez-Castillo, J.; García-Ramírez, P.
J.; Morales-González, E.; RamírezTreviño, A.; Calleja-Arriaga, W. Structural and electro-thermal analysis of a magnetic resonant sensor structure based on Lorentz force Superficies y vacío, vol.
19, núm.
3, septiembre, 2006, pp.
20-26 Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C. Distrito Federal, México Available in: http:--www.redalyc.org-articulo.oa?id=94219304 How to cite Complete issue More information about this article Journals homepage in redalyc.org Scientific Information System Network of Scientific Journals from Latin America, the Caribbean, Spain and Portugal Non-profit academic project, developed under the open access initiative Superficies y Vacío 19(3), 20-26, septiembre de 2006 ©Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales Structural and electro-thermal analysis of a magnetic resonant sensor structure based on Lorentz force A.
L.
Herrera-May, J.
Martínez-Castillo, P.
J.
García-Ramírez Research Center for Micro and Nanotechnology, Veracruzana University, Z.C.
94294, Boca del Río, Ver., México leherrera@uv.mx, jaimartinez@uv.mx, jagarcia@uv.mx E.
Morales-González Engineering Faculty of Veracruzana University Z.C.
94294, Boca del Río, Ver., México emorales@uv.mx A.
Ramírez-Treviño CINVESTAV-Guadalajara, Z.C.
45010, Zapopan, Jal., México art@gdl.cinvestav.mx W.
Calleja-Arriaga National Institute of Astrophysics, Optics and Electronics Apdo.
51, Sta.
María Tonantzintla, Puebla, México wcalleja@inaoep.mx (Recibido: 14 de marzo de 2006; Aceptado: 29 de agosto de 2006) The structural and electro-thermal analysis of a resonant structure for a magnetic sensor based on MEMS technology is presented in this paper.
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