Diseño de un equipo industrial de arco pulsado para la producción de peliculas delgadas mediante papvd Reportar como inadecuado




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MAURICIO ARROYAVE ; ALFONSO DEVIA ;Scientia Et Technica 2004, X 25

Autor: GLORIA PATRICIA ESTRADA

Fuente: http://www.redalyc.org/


Introducción



Scientia Et Technica ISSN: 0122-1701 scientia@utp.edu.co Universidad Tecnológica de Pereira Colombia ESTRADA, GLORIA PATRICIA; ARROYAVE, MAURICIO; DEVIA, ALFONSO DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD Scientia Et Technica, vol.
X, núm.
25, agosto, 2004, pp.
277-282 Universidad Tecnológica de Pereira Pereira, Colombia Disponible en: http:--www.redalyc.org-articulo.oa?id=84911685047 Cómo citar el artículo Número completo Más información del artículo Página de la revista en redalyc.org Sistema de Información Científica Red de Revistas Científicas de América Latina, el Caribe, España y Portugal Proyecto académico sin fines de lucro, desarrollado bajo la iniciativa de acceso abierto 277 Scientia et Technica Año X, No 25, Agosto 2004.
UTP.
ISSN 0122-1701 DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD RESUMEN Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante PAPVD, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados.
El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro x 1 m de longitud.
Las piezas se localizan en un árbol portamuestras intercambiable que tiene movimiento rotacional planetario.
La evaporación se realiza simultáneamente en 8 blancos rotatorios, a través de una fuente de potencia controlada con tecnología IGBT.
Todas las variables del proceso son controladas automáticamente. PALABRAS CLAVES: Diseño equipo, PAPVD, arco pulsado. ABSTRACT A multi-evaporator equipment for industrial applications has been designed.
It is used to produce thin films by means of PAPVD, using pulsed electric arc evaporation technique.
This equipment is conformed by a vacuum chamber.
It has cylindrical geometry and its dimensions are 1 meter of diameter and 1 meter of length.
The pieces to be coated, are local...





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