Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables. Report as inadecuate




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Tipo de documento: Artículo - Article

Palabras clave: Diboruro de magnesio, efecto isotópico, teoría BCS, estructura de bandas., Magnesium diboride, isotopic effect, BCS theory, band structure.





Source: http://www.bdigital.unal.edu.co


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momento Revista de Fı́sica, No 35, Diciembre 2007 37 MICROESTRUCTRA DE RECUBRIMIENTOS DE NITRUROS METALICOS DE TRANSICIÓN PRODUCIDOS CON LA TÉCNICA DE SPUTTERING ASISTIDO CON CAMPOS MAGNETICOS VARIABLES J.
J.
Olaya1 1 Departamento de Ingenierı́a Mecánica y Mecatrónica, Universidad Nacional de Colombia. Resumen La microestructura de un recubrimiento de nitruros metálicos de transición (NMT) esta determinada por un gran número de parámetros de depósito, que incluyen la temperatura del sustrato, presión de trabajo, la presión parcial del nitrógeno, la potencia de la descarga, la polarización negativa en el sustrato y la razón de flujos iones-átomos incidentes en el sustrato.
Todos estos parámetros controlan la movilidad de los átomos depositados y con ello la microestructura y la composición quı́mica del recubrimiento.
Un entendimiento detallado de la interacción de la microestructura con las propiedades es importante, ya que el tipo de morfologı́a y la orientación preferencial del recubrimiento influyen en las propiedades mecánicas, quı́micas, ópticas y eléctricas de las pelı́culas.
En este artı́culo se describen las principales teorı́as que resumen el fenómeno de la orientación preferencial en los recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con un sistema de sputtering asistido con campos magnéticos. Palabras claves: magnetrón desbalanceado, nitruros metálicos de transición, microestructura, orientación preferencial J.J.
Olaya: E-mail: jjolaya@unal.edu.co 38 J.
J.
Olaya Abstract The microstructure of transition metallic nitride coatings is determined by the deposit parameters, which include the substrate temperature, work pressure, partial pressure of nitrogen, discharge power, substrate polarization and the ion to atom flux ratio.
All these parameters can control the mobility of atoms, which change the microstructure and the chemical composition of the fil...






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