Résonateurs à ondes acoustiques guidées sur miroir de Bragg pour communications radio-fréquencesReportar como inadecuado




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* Corresponding author 1 CEA-LETI - Laboratoire d-Electronique et des Technologies de l-Information 2 ST-CROLLES - STMicroelectronics Crolles 3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Résumé : Les résonateurs à ondes acoustiques de volumes appelés résonateurs BAW pour Bulk Acoustic Wave sont des composants particulièrement attractifs pour les communications radio-fréquences f > 1 GHz. Ils permettent de réaliser des filtres aux performances accrues et aux encombrements et coûts réduits, ou d-intégrer des oscillateurs de référence à faible consommation. Les résonateurs BAW classiques possèdent une fréquence de fonctionnement fixe déterminée principalement par l-épaisseur de la couche piézoélectrique. Cette contrainte est une limitation importante si l-on considère l-évolution actuelle des communications mobiles vers les circuits multi-standards et reconfigurables. Le travail présenté vise à développer un nouveau type de résonateur acoustique en technologie SMR résonateur isolé du substrat par un miroir de Bragg, qui permette la co-intégration de résonateurs de fréquences différentes. Il repose sur l-utilisation de la résonance latérale d-ondes acoustiques guidées dont la fréquence est déterminée par une étape de gravure. Les principaux résultats présentés concernent la conception d-un miroir de Bragg assurant une isolation efficace de l-onde guidée vis à vis du substrat, la conception du peigne d-électrodes inter-digitées qui optimise le couplage de l-onde acoustique recherchée et minimise les modes parasites, et la technologie de fabrication mise en œuvre pour réaliser ces résonateurs sur substrat silicium. Les caractéristiques mesurées de ces résonateurs sont comparées aux résultats publiés pour des résonateurs à ondes de Lamb réalisés en technologie FBAR résonateur sur membrane.

Mots-clés : Résonateur piézoélectrique Radio-fréquences Ondes guidées





Autor: Issiaka Koné - Frédéric Domingue - Alexandre Reinhardt - Fabrice Casset - Marc Aïd - Jean-François Carpentier - Lionel Bucha

Fuente: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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